碳化鉻復合耐磨鋼板復合離子結構及其結構和性能
研究氫氧共注入以降低
碳化鉻復合耐磨鋼板圓片生產成本，和氮氧共注入形成新結構以提高抗總劑量輻照性能。實驗發現
碳化鉻復合耐磨鋼板圓片的制備過程中引入氫離子，樣品結構會產生比較大的變化。氫致缺陷的存在使成核速率變大，氫的存在加速氧的擴散速率，使得退火時氧的內擴散和外擴散同時增強，并促進氧沉淀的生長，從而導致埋層增厚。室溫氫離子注入比高溫注入增厚效應明顯。實驗中，我們得到了增厚10％的連續埋層，質量良好。加大氫離子注入劑量后，由于未相應調整退火工藝，樣品埋層因退火不充分形成了一個增厚幅度從28％到161％的分布極廣的富氧區域，埋層不連續。氫的不同劑量能量搭配對富氧埋層的分布和形貌都有影響。進一步適當調整注入條件和退火工藝，有希望得到具有可觀增厚致密連續埋層的
碳化鉻復合耐磨鋼板，這對降低生產成本有重要意義。采用氮氧共注入形成新型
碳化鉻復合耐磨鋼板。通過大量不同注入條件和退火工藝的制備和測試分析，發現
碳化鉻復合耐磨鋼板的結構對注入條件和退火工藝非常敏感，并找到了比較好的注入能量、劑量搭配以制備高質量的
碳化鉻復合耐磨鋼板；氮、氧均有在界面處富集的趨勢；對各種氮氧復合注入技術作了初步分析和比較，傾向采用注氧-退火-注氮-退火的制備方法。從抗輻射原理出發認為
碳化鉻復合耐磨鋼板一樣具有天然的抗瞬態劑量率效應和抗SEU效應能力。對低劑量
碳化鉻復合耐磨鋼板圓片進行了抗總劑量輻照的實驗。發現輻射對器件的漏源電流特性、轉移特性和亞閾值漏電特性等電學性能影響很小。實驗結果說明低劑量
碳化鉻復合耐磨鋼板圓片已經能初步用于抗輻射MOS器件的實際制作。對
碳化鉻復合耐磨鋼板進行了抗總劑量輻照的實驗，并與
碳化鉻復合耐磨鋼板進行對比。發現
碳化鉻復合耐磨鋼板具有更優良的抗總劑量輻照能力。
碳化鉻復合耐磨鋼板的優良抗總劑量輻照能力的主要原因是存在于埋層內部的大量斷鍵。
碳化鉻復合耐磨鋼板具有全面的抗各種輻射的優良能力，同時又具有SOI材料的各種優點，生產基本兼容于
碳化鉻復合耐磨鋼板，具有廣闊應用前景。
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