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      碳化鉻復合耐磨鋼板復合離子結構及其結構和性能

      作者: 發布于:2017/11/23 16:13:35 點擊量:

      研究氫氧共注入以降低

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      圓片生產成本,和氮氧共注入形成新結構以提高抗總劑量輻照性能。實驗發現

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      圓片的制備過程中引入氫離子,樣品結構會產生比較大的變化。氫致缺陷的存在使成核速率變大,氫的存在加速氧的擴散速率,使得退火時氧的內擴散和外擴散同時增強,并促進氧沉淀的生長,從而導致埋層增厚。室溫氫離子注入比高溫注入增厚效應明顯。實驗中,我們得到了增厚10%的連續埋層,質量良好。加大氫離子注入劑量后,由于未相應調整退火工藝,樣品埋層因退火不充分形成了一個增厚幅度從28%到161%的分布極廣的富氧區域,埋層不連續。氫的不同劑量能量搭配對富氧埋層的分布和形貌都有影響。進一步適當調整注入條件和退火工藝,有希望得到具有可觀增厚致密連續埋層的

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      ,這對降低生產成本有重要意義。采用氮氧共注入形成新型

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      。通過大量不同注入條件和退火工藝的制備和測試分析,發現

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      的結構對注入條件和退火工藝非常敏感,并找到了比較好的注入能量、劑量搭配以制備高質量的

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      ;氮、氧均有在界面處富集的趨勢;對各種氮氧復合注入技術作了初步分析和比較,傾向采用注氧-退火-注氮-退火的制備方法。從抗輻射原理出發認為

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      一樣具有天然的抗瞬態劑量率效應和抗SEU效應能力。對低劑量

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      圓片進行了抗總劑量輻照的實驗。發現輻射對器件的漏源電流特性、轉移特性和亞閾值漏電特性等電學性能影響很小。實驗結果說明低劑量

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      圓片已經能初步用于抗輻射MOS器件的實際制作。對

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      進行了抗總劑量輻照的實驗,并與

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      進行對比。發現

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      具有更優良的抗總劑量輻照能力。

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      的優良抗總劑量輻照能力的主要原因是存在于埋層內部的大量斷鍵。

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      具有全面的抗各種輻射的優良能力,同時又具有SOI材料的各種優點,生產基本兼容于

      碳化鉻復合耐磨鋼板

      ,具有廣闊應用前景。
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